Descrizione
1).Adottato per eliminare la tecnologia delle "lenti colorate", per assicurarsi senza "lenti colorate" durante il processo a lungo termine.
2).Realizzato in materiale di grafite importato da SGL con elevata purezza, basso contenuto di impurità e alta resistenza.
3).Utilizzo della ceramica al 99,9% per l'assemblaggio in ceramica con prestazioni di resistenza alla corrosione e alle abrasioni.
4).Utilizzando l'attrezzatura di elaborazione di precisione per garantire l'accuratezza di ogni parte.
Specifica
Articolo | Tipo | Porta wafer con numero |
Barca in grafite PEVCD --- La serie 156 |
156-13 barca in grafite | 144 |
156-19 barca in grafite | 216 | |
156-21 barca in grafite | 240 | |
156-23 barca in grafite | 308 | |
Barca in grafite PEVCD --- La serie 125 |
Barca in grafite 125-15 | 196 |
125-19 barca in grafite | 252 | |
125-21 barca in grafite | 280 |
FAQ
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